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MOS管各種泄漏電流的原因解析
  • 發布時間:2023-06-17 16:32:25
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MOS管各種泄漏電流的原因解析
MOS 晶體管正在按比例縮小,以最大限度地提高其在集成電路內的封裝密度。這導致氧化層厚度的減少,進而降低了 MOS 器件的閾值電壓。在較低的閾值電壓下,泄漏電流變得很大,並有助於功耗。這就是為什麽日韩国产成人必須了解 MOS 晶體管中各種類型的泄漏電流的原因。
MOS晶體管結構由金屬、氧化物和半導體結構(因此,MOS)組成。
考慮具有 p 襯底和 n+ 擴散阱作為漏極和源極端子的 NMOS 晶體管。氧化層由SiO 2製成並生長在漏極和源極之間的溝道上。柵極端子由n+摻雜的多晶矽或鋁製成。
MOS管 漏極 電流
在無偏置條件下,漏極/源極和襯底界麵處的 pn 結是反向偏置的。晶體管的能帶圖如圖2所示。
MOS管 漏極 電流
圖 2. 無偏 NMOS 晶體管的能帶圖
如您所見,金屬、氧化物和半導體的費米能級相互對齊。由於氧化物-半導體界麵處的電壓降,Si 能帶存在彎曲。內建電場的方向是從金屬到氧化物再到半導體,電壓降的方向與電場的方向相反。
這種電壓降是由於金屬和半導體之間的功函數差異而發生的(部分電壓降發生在氧化物上,其餘部分發生在 Si-SiO 2界麵上)。功函數是電子從費米能級逃逸到自由空間所需的能量。
積累
接下來,假設柵極有負電壓,源極的漏極和襯底接地。由於負電壓,基板中的空穴(多數載流子)被吸引到表麵。這種現象稱為積累。襯底中的少數載流子(電子)被推回深處。對應的能帶圖如下。
MOS管 漏極 電流
圖 3.柵極端負電壓 NMOS 晶體管的能帶圖
由於電場的方向是從半導體到氧化物再到金屬,所以能帶向相反方向彎曲。此外,請注意費米能級的變化。
耗盡和耗盡區
或者,考慮柵極電壓剛好大於零。空穴被排斥回基板中,並且通道耗盡了任何移動電荷載流子。這種現象稱為耗盡,並創建了比無偏條件更寬的耗盡區域。
MOS管 漏極 電流
由於電場是從金屬到氧化物再到半導體,所以能帶向下彎曲。
表麵反轉
如果進一步增加柵極處的正電壓,則襯底中的少數載流子(電子)被吸引到溝道表麵。這種現象稱為表麵反轉,而表麵剛好反轉的柵極電壓稱為閾值電壓 (V th )。
MOS管 漏極 電流
電子在源極和漏極之間形成一個傳導通道。如果隨後從零電位開始增加漏極電壓,則漏極電流 (I d ) 開始在源極和漏極之間流動。能帶進一步向下彎曲並在半導體-氧化物界麵處彎曲。
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